반도체 디바이스의 복잡화 및 미세화와 더불어 반도체 제조 장치의 유지보수의 난이도도 높아지고 있습니다.당사 그룹은 제조 및 판매하는 반도체 제조 장치의 안정적인 가동을 제공하기 위해 부품의 안정적인 공급과 경험이 풍부한 엔지니어의 기술 지원을 제공하고 있습니다.이는 일반적인 유지보수 범위를 넘어, 고객의 운영방법에 맞춘 장치 이용방법의 최적화나 기능 업그레이드 등을 제안하는 것까지 포함합니다.
또한 단종된 부품의 대체품 제공이나 업그레이드, 생산성 향상을 위한 개조 등 고객의 요청에 맞춘 다양한 기능 향상의 제안은 물론, 중고장치의 판매 등도 진행하고 있습니다.
서비스 소개
부품센터
당사 그룹의 장치를 안심하고 이용하실 수 있도록 세계 각국에 부품센터를 운영하고 있습니다. 평상시에는 각국의 부품센터에서, 긴급시에는 일본 등에 설치된 글로벌 센터에서 스페어 부품을 신속히 공급하여 장치의 안정적인 가동을 실현합니다. 또한 보다 안정된 장치 운용을 희망하시는 고객을 대상으로, 부품+보증 서비스 패키지 플랜도 제공하고 있습니다.
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온사이트 재고계약
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PM부품 재고계약 (석영 등을 포함한 PM 교환 부품)
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BCP 대응용 재고계약
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OTD(On-Time Delivery) 보증 재고계약
보수 서비스
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가동률 보증 서비스
고객이 요구하는 가동률을 확보하기 위해 안정적으로 부품을 공급하고 유지보수 작업이나 트러블 대응을 전담하는 서비스를 제공하고 있습니다.
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상주 엔지니어 서비스
엔지니어를 상시 배치하여 유지보수 작업과 문제 해결 등 전반적인 서비스를 제공합니다.
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온콜 서비스
시간에 관계없이 경험 풍부한 엔지니어가 고객 현장으로 신속히 출동합니다.
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원격 서비스
웨어러블 카메라나 원격제어시스템을 이용하여 기술 지원 및 데이터 해석의 서비스를 제공하고 있습니다.
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전문가 파견 서비스
장시간 가동 중단이 발생한 경우, 전문가를 파견하는 서비스를 제공하고 있습니다.
정기 유지보수
반도체 디바이스의 복잡화 및 미세화와 더불어 반도체 제조 장치의 유지보수 난이도도 높아지고 있습니다.당사 그룹은 경험 풍부한 엔지니어가 고품질, 신속한 유지보수 서비스를 제공합니다. 편리한 PM 키트(석영 및 소모품 등)와 정기 유지보수 작업(예: 1회/년)의 패키지 옵션을 마련하고 있습니다.
안정적인 장치 가동을 위한 제안
고객의 운용 방법에 맞추어, 사용 방법의 최적화를 제안드리고 있습니다. 또한 데이터 해석 툴을 활용하여 장치간 편차를 최소화하는 서비스도 제공이 가능합니다.
업그레이드, 장치 개조 제안
업그레이드 키트
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생산성 향상
성막 처리 시간의 단축, 일괄 처리 매수의 증가, 메인터넌스 프리 키트 등의 제안이 가능합니다.
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프로세스 변경 개조
다양한 막종을 옵션으로 마련하고 있습니다.
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제품 보호 기능
고객의 중요한 제품웨이퍼를 보호하는 기능을 용도에 맞게 제공합니다.
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소프트웨어
정기적인 업그레이드를 통해 보다 고기능이고 편리한 소프트웨어를 제공합니다.
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CoO 절감
운용비용을 절감할 수 있는 기능을 제안합니다.
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에너지 저감
친환경, 에너지 절감을 목적으로 한 옵션 기능이 마련되어 있습니다.
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지진 피해를 우려하시는 고객님께
내진 및 면진 기능을 갖춘 부품 변경 및 개조 제안이 가능합니다.
단종품에 대한 대응
판매・유지보수 기간이 종료된 장치도 오래 사용하실 수 있도록 단종된 일부 부품에 대해 대체품 제공이 가능합니다.
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대체품 제안
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중고부품 판매
장기간 사용한 장치의 개조
장기간 사용한 장치의 개조를 실시하고 있으며, 최신 세대의 장치에 탑재되어 있는 유닛으로 대체 개조가 가능합니다. 고객의 요청에 따른 개조 제안도 취급하고 있으므로 부담없이 문의해 주십시오.
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신품 수준의 리프레시 서비스
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최신 컨트롤러 시리즈 등으로의 교체
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고속, 제품 보호 기능을 갖춘 웨이퍼 반송 로봇으로의 업그레이드
중고장치
다양한 기종 및 성막 프로세스 장치를 취급하고 있습니다.
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당사 그룹 협업 파트너와 연계한 최적의 중고장치를 단납기로 신속하게 제공합니다.
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장치 메이커 보증으로 안심하고 안전하며 안정적인 중고장치와 서비스를 제공합니다.
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고객이 원하는 사양으로 개조가 가능합니다.
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노후화된 유닛을 신품과 동등한 수준의 유닛으로 대체하는 리퍼비시 서비스를 제공하고 있습니다.
트레이닝센터
전임 강사가 목적과 목표 스킬에 맞춰 트레이닝 일정을 마련합니다. 고객의 요구에 적합한 커리큘럼을 수립하여 최적의 환경에서의 트레이닝을 제공합니다.
트레이닝 내용
확실하게 스킬을 습득할 수 있도록 복합 트레이닝을 제공합니다. 개인별 수준 및 교육시간에 맞춘 개별 학습이 가능합니다.
