Ȩ°í°´¼¾ÅÍ½Å±Ô ¾÷ü ¼Ò°³
´ç»ç´Â ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶°øÁ¤¿¡ ÇʼöÀûÀ¸·Î »ç¿ëµÇ´Â Á¾ÇüÈ®»ê·Î, LP-CVD System À» »ý»êÇÏ´Â
¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶Àåºñ Àü¹®»ý»ê ±â¾÷ÀÔ´Ï´Ù.
´ç»ç¿Í ÇÔ²² Çѱ¹ ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷À» ¼±µµÇØ ³ª°¥ Çù·Â¾÷ü¿ÍÀÇ ¸¸³²À» Ç×»ó ȯ¿µÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç ¸ÞÀÏÀ» ÅëÇØ
Çù·Â¾÷ü¿¡¼­ Ãë±ÞÇϽô Á¦Ç°¿¡ ´ëÇÑ Á¤º¸¸¦ ûÃëÇÏ°íÀÚ ÇÕ´Ï´Ù.
´ç»ç¿Í °Å·¡¸¦ ¿øÇϽô ¸ðµç Çù·Â¾÷ü´Â ¾Æ·¡ÀÇ °Ô½ÃÆÇ¿¡ °£´ÜÇÑ È¸»ç¼Ò°³¿Í Á¦Ç°Á¤º¸ µîÀ» ¿Ã·Á Áֽðí
º¸´Ù ÀÚ¼¼ÇÑ »çÇ×Àº ¾Æ·¡ À̸ÞÀÏ ¹®ÀÇÇϱ⸦ Ŭ¸¯ÇÏ¿© º°µµ ¸ÞÀÏ·Î ¾Ë·Á Áֽñ⠹ٶø´Ï´Ù.